沪硅精密陶瓷科技(苏州)有限公司技术人员正在加工半导体部件产品。该公司生产的精密陶瓷产品是半导体领域刻蚀机、CVD薄膜沉积设备等的核心零部件,填补了国内耐等离子体侵蚀陶瓷方面产业空白。
记者 计海新 摄