润理（苏州）真空技术有限公司项目建设跑出“加速度”，这家填补国内光刻预处理技术空白的高科技企业，仅用8个月便完成从项目建设到试生产的全流程，为浏河镇高端装备制造产业集群再添核心力量。

　　日前，在润理（苏州）真空技术有限公司的装备调试车间内，技术员正对即将交付的阿妙激光设备进行最后调试。 这台用于基础科研的设备可以解决试验阶段对特殊波段的激光需求。作为企业试生产之后的首批设备，它也将于这个月完成交付。

　　作为浏河镇2024年重点项目，润理（苏州）真空技术有限公司项目占地14.1亩，总投资1.5亿元，主要生产真空、低温应用设备及半导体EUV光源测试系统。

　　项目去年8月破土动工，今年6月首批设备迁入试生产。 公司总经理戈松雨告诉记者，该项目的建设将带动企业总部搬迁至浏河，完成产能、资源等整体融合，也承载着企业打破国际垄断的雄心——其自主研发的高真空硅片氢气清洗系统，成功替代尼康、佳能相关设备，解决光刻预处理环节的 卡脖子 难题；同步研发的高真空键合系统，更具备与国际巨头同台竞技的实力。目前，企业已为清华、中国科学院等9家知名科研机构定制高端设备。

　　戈松雨表示，企业计划通过2~3年建设，形成年产1500套相关设备的产能，目标是打造国内领先的真空技术及半导体配套设备研发制造基地，实现年产值超3亿元，助力区域高端制造业升级。

　　浏河镇产业发展势头强劲，今年以来，高端装备制造、汽车零部件等主导产业贡献突出，拉动工业增长超7个百分点。通过 增资扩产、项目招引、存量盘活 三管齐下，上半年签约落户弗瑞斯特、保捷精锻科技等总投资超13亿元的11个项目，意欣智能、优尼泰克等11个新建重点项目全部开工，丰采、铁王等3个产业载体去化率超90%，持续为太仓经济社会发展注入新动能。（记者  张丹璐）