沪硅精密陶瓷助力半导体产业发展
来源：太仓日报
责编：俞群艳
时间：2024-07-10
沪硅精密陶瓷科技（苏州）有限公司技术人员正在加工半导体部件产品。该公司生产的精密陶瓷产品是半导体领域刻蚀机、CVD薄膜沉积设备等的核心零部件，填补了国内耐等离子体侵蚀陶瓷方面产业空白。 记者 计海新 摄
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